C’est le moment pour le Leti de renforcer son équipement. Le laboratoire d’électronique et de technologie de l’information du CEA à Grenoble engage un plan d’investissement de 120 millions d’euros en 3 ans dans sa salle blanche. C’est ce que son nouveau directeur général Emmanuel Sabonnadière a révélé lors d’une rencontre avec L’Usine Nouvelle.

Se mettre au niveau de l'Imec et de l'institut Fraunhofer

"Jusqu’ici, le Leti consacrait 15% de son budget hors contrats industriels à la mise à niveau de ses équipements, explique-t-il. Nous voulons passer à 25% pour nous mettre au niveau des deux autres principaux centres européens de recherche en nanoélectronique, l’Imec en Belgique et l’institut Fraunhofer en Allemagne, qui en sont, eux, à des taux de 25 à 30%."

Le Leti, qui compte 1 900 chercheurs et un budget annuel de 315 millions d’euros, est l’épicentre de l’écosystème grenoblois d’électronique considéré comme la Silicon Valley française. Il revendique 330 partenaires industriels, dont les deux leaders français de la micro-électronique STMicroelectronics et Soitec. De ses laboratoires sont sorties plusieurs innovations dont la technologie de caméras infrarouge mise en œuvre par Sofradir et la technologie de puces FD-SOI, la seule alternative française à la technologie américaine FinFET pour la course de la loi de Moore, promue sur le plan industriel par Soitec.

Ne plus dépendre de STMicroelectronics

La première tranche du plan d’investissement concerne une machine de photolithographie à double immersion de 40 millions d’euros. Elle a été commandée au numéro un mondial du secteur, le néerlandais ASML. Elle devrait être installée en mai 2018 dans la salle blanche dédiée aux plaquettes de 300 mm de diamètre. Elle servira à réaliser des prototypes en gravure de 28, 22 et 14 nanomètres avec une exposition optique à 193 nanomètres principalement dans deux domaines : les circuits en silicium sur isolant et les imageurs.

"Jusqu’ici, nous faisions appel à STMicroelectronics, dans son usine Crolles 2 dédiée aux plaquettes de 300 mm, pour réaliser nos prototypes, rappelle Emmanuel Sabonnadière. STMicroelectronics ne peut plus le faire dans les délais car son usine tourne à pleine capacité. Nous voulons prendre aussi notre indépendance en disposant en interne de cet équipement clé. Cela nous permettra de réaliser rapidement des prototypes de test et de travailler avec d’autres partenaires industriels comme GlobalFoundries."

Grands enjeux technologiques

Le Leti dispose de 8 000 m2 de salles blanches dont une de 3 000 m2 dédiée aux plaquettes de 300 mm. Son équipement comprend près de 550 machines, dont 150 adaptées au traitement de plaquettes de 300 mm. Il correspond à l’équipement dont disposent les industriels de la filière dans leurs usines de production. L’effort d’investissement vise à préparer la prochaine vague d’innovations.

"Nous sommes fiers des bons résultats affichés aujourd’hui par nos partenaires industriels comme STMicroelectronics et Soitec grâce à nos innovations dans les imageurs ou le silicium sur isolant, confie Emmanuel Sabonnadière. Nous voulons préparer les innovations qui feront leur succès en 2022. Il y a de grands enjeux technologiques dans la cybersécurité, la 5G ou la santé connectée. Sans parler des paris scientifiques comme le calcul quantique, les puces neuromorphiques ou les nanofils pour l’optique. Nous voulons jouer un rôle moteur dans ces développements."

Tentation des industriels de relâcher l'effort de R&D

Le patron du Leti se félicite du rebond de STMicroelectronics et Soitec après de longues années de marasme. Mais il insiste sur la nécessité de ne pas négliger la R&D. "Avec leur succès, les industriels sont pris par l’urgence des investissements industriels et de l’augmentation des capacités de production, constate-t-il. Le risque c’est qu’ils soient tentés de relâcher leur effort de R&D. Or c’est le moment ou jamais de l’augmenter. C’est important pour préparer le coup d’après. Car la compétition ne faiblit pas et est mondiale."